Основен процес на обложување JKL PVD

(1) Третман пред PVD, вклучувајќи чистење на предмети и предтретман.Специфичните методи за чистење вклучуваат чистење со детергент, чистење со хемиски растворувач, ултразвучно чистење и чистење со јонско бомбардирање.
(2) Ставете ги во печка, вклучително чистење и прицврстување на вакуумската комора, како и инсталација, пуштање во работа и поврзување на предмети и тела.
(3) Правосмукалката, генерално пумпање до 6,6 Pa или повеќе, отворете го предниот дел на дифузната пумпа порано за да ја одржите вакуумската пумпа и да ја загреете дифузната пумпа.Откако претходното загревање е доволно, високиот вентил се отвора и се испумпува до вакуум од половина дното од 6 x 10-3 Pa со дифузна пумпа.
(4) Печење, печење на предметите на саканата температура.
(5) Јонско бомбардирање, вакуумот е генерално од 10 Pa до 10-1 Pa, напонот на јонско бомбардирање е негативен висок напон од 200 V до 1 KV, а времето на напад е 15 мин до 30 мин.
(6) Пред-топење, прилагодување на струјата за претходно топење на материјалот, прилагодување на струјата за претходно топење на позлата и дегасирање 1 мин ~ 2 мин.Депонирање на испарување.Струјата на испарување се прилагодува по потреба додека не заврши саканото време на таложење.Со ладење, предметите се ладат до одредена температура во вакуумската комора.
(7) Откако ќе се извадат предметите, вакуумската комора се затвора, вакуумот се евакуира до l × l0-1Pa, а дифузната пумпа се лади до дозволената температура пред да се исклучат пумпата за одржување и водата за ладење.
 


Време на објавување: Сеп-07-2021 година